13
當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>雷博科學儀器>>工業半導體設備>> ET20刻蝕機
刻蝕機
刻蝕機是一種用于電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，于2012年5月14日啟用。
產品介紹
適合于8英寸及以下晶圓的單片刻蝕工藝
可選耐腐蝕PP柜體
可按客戶需求定制設備規格
全自動擺臂、可配備多路刻蝕液
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態
可選蝕刻液加熱控溫及FFU功能
專用排風、排廢系統、提高設備的安全性
產品參數
旋轉速度范圍：0-3000rpm
加速度范圍：20-5000rpm/s
轉速精度：±1rpm
刻蝕管路：≤2路(扇形或錐形噴嘴）
設備尺寸：1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
