APTECH調(diào)壓閥

產(chǎn)品型號(hào)：AZ1015S 2PW FV4 FV4

關(guān)鍵字：APTECH調(diào)壓閥AZ1000

關(guān)鍵字描述：SS 316L結(jié)構(gòu)，清洗，組裝和包裝用于高純度半導(dǎo)體應(yīng)用。

產(chǎn)品介紹：

SS 316L結(jié)構(gòu)

10 µin.表面處理（25 µin.可選）

真空至3500 psig（241 bar）入口

1至300 psig（0.07至21 bar）出口

清洗，組裝和包裝用于高純度半導(dǎo)體應(yīng)用

流量

-標(biāo)準(zhǔn)至30 slpm

-HF選項(xiàng)為120 slpm

使用點(diǎn)應(yīng)用的調(diào)節(jié)器

旋鈕LOTO

參數(shù)：

傳輸壓力：5至150 psig（0.34至10 bar）

耐壓：工作壓力的150％

爆破壓力：工作壓力的300％

流量系數(shù)（Cv）：0.09（可選0.15 HF）

內(nèi)部容積：0.49 in³（8 cm³）

端口：2口對接焊

閥體，噴嘴：SS 316L

隔膜：SS 316L

涂層：電拋光和鈍化

閥座：PCTFE（可選聚酰亞胺和PTFE）

入口/出口連接：1/4英寸面密封，母接頭

舷內(nèi)泄漏：2 x 10^-10 sccs

舷外泄漏：2 x 10^-9 sccs He

座椅泄漏：4 x 10^-8 sccs

安裝面或面板（可選）

工作溫度：-40°至+ 160°F（-40°至+ 71°C）