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北京中慧天誠科技有限公司

標準(ASTM F84)及標準設計制造四探針電阻率測試儀

時間:2014-3-6閱讀:595
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四探針電阻率測試儀產品介紹:
四探針電阻率測試儀是嚴格按照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及標準設計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。
四探針電阻率測試儀功能特點:
1.配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表(以之幾的精度)適時監測過程中的電流變化,使操作簡便,測量。
3.設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4.流經硅片的測量電流由高度穩定(之五精度)的恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。
5.儀器采用觸點電阻低(<5mΩ)、使用壽命長的轉換開頭及繼電器(>10),在緣電阻、電流容量方面留有大的系數,提高了測試儀的性和使用壽命。
6.可加配電腦,使用軟件進行數據采集,實現自動換向測量、存儲,求平均值,zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內容。
7.可配電動測試架,自動上下運行,使測量方便快捷。
8.四探針頭采用上的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高。
四探針電阻率測試儀參數:
電 壓 表:0—199.99mV
靈 敏 度:10μV
輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差:±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)
電 阻 率:10-4—1.9×104Ω·cm
方塊電阻:10-3—1.9×105Ω/□
電流量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

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