自動橢圓偏振測厚儀/自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀

時間：2013/1/7閱讀：661

測厚儀 /自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀

型號：TP-TPY-2

產品特點：

儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩定波長精度高。

儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數據采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

規格與主要指標：

測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10

測量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°

度盤刻度：每格1度允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm

偏振器步進角：0.014°/步偏振器方位角范圍：0°- 180°

測量膜厚和折射率重復性精度分別為：0.5nm和0.005

儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）

光學中心高度：80mm

成套性：主機、電控系統、USB接口、配套軟件（需配計算機）

主機重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm

裝箱單

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