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了解什么是機械研磨，什么是離子研磨。
如果你沒有從掃描電鏡圖片中獲得你想要的信息，在掃描電鏡功能一切正常的前提下，極有可能是樣品制備不夠成功導致的。如果不使用離子研磨儀，就無法用掃描電鏡觀察到錫球焊接處的缺陷。
使用離子研磨儀后，將有助于得到材料表面更豐富更準確的形貌信息。對于一般的內部結構觀察，使用傳統的機械研磨即可以達到需要的分析效果，但是對于某些精度要求較高或是機械研磨外部應力會產生影響的情況下，使用高精度、無應力的、無接觸式的研磨——離子研磨就很有必要。電子行業通常要求精度較高的結構分析，例如細微失效缺陷分析；或是對處理應力有較高要求的缺陷分析，例如樹脂與玻纖布的結合，銅箔厚度的仲裁測量等；這類情況下傳統的機械研磨就無法再達到預期的觀察效果。
什么是機械研磨？
機械研磨作為常用的粗樣制備手段，通常的機械研磨和拋光會在表面上形成 1 nm 至 100 nm 厚度的非晶層，稱為 Beilby 層。Beilby 層會掩蓋住大部分的樣品真實信息，對掃描電鏡表征產生很大的影響。特別對于常見的金剛石拋光技術，因為它會使表面的晶粒變形，從而影響表征結果(例如金相樣品)。離子研磨技術則克服了上述所有困難，從而提供了高分辨率表征所需的表面光潔度。
什么是離子研磨？
離子研磨實現的過程中，首先通過一個高壓電極來對氬氣進行電離，從而形成氬離子；繼而再通過一個高壓電場來對氬離子實施加速，經過帶有偏轉電場的離子槍頭，使其形成離子束對需要研磨的樣品進行轟擊，將樣品表面物質以原子的形態清除出去，以使得樣品達到無應力研磨的效果。如圖 1 所示。在整個過程中會調整一些參數，例如離子能量，離子束入射角，以優化樣品制備時間和表面質量。
我們的離子研磨拋光儀是通過物理科學技術來加強樣品表面特性。使用惰性氣體中具有代表性的氬氣作為氣源，通過加速電壓使其電離并撞擊樣品表面。在控制的范圍內，通過這種動量轉換的方式，氬氣離子去撞擊樣品表面從而達到無應力損傷的SEM觀察樣品。