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NanoChrome ULTRA系列超微量級分析儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌SERVOMEX

廠商性質生產商

所  在  地上海市

更新時間:2025-04-21 12:02:41瀏覽次數:612次

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產地類別 進口 應用領域 電子/電池
NanoChrome ULTRA系列超微量級分析儀
該ULTRA系列超微量級分析儀專為半導體過程應用設計,采用創新的高靈敏度等離子發射檢測技術(PED),可精確測量H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar和NMHC氣體。其ProPeak鎖峰技術和直接分析方法確保了高的測量精度,廣泛應用于半導體生產和UHP氣體的質量控制。
創新型ULTRA系列產品中的一員,用于半導體過程應用的超微量級分析儀,可測量

NanoChrome ULTRA系列超微量級分析儀


核心參數

儀器種類:在線

適用領域:高純氣體分析專用

控制溫度范圍: +5°C … +40°C (+41°F … +104°F)

載氣流量范圍及控制:90 … 810ml/分鐘

載氣壓力范圍及控制:O2背景氣 = 85psig,其他背景氣 = 80psig

進樣口壓力設定范圍:30psig(具體視應用而定)

進樣口總流量設定范圍:0 … 300ml/分鐘(具體視應用而定)


簡介

該ULTRA系列超微量級分析儀專為半導體過程應用設計,采用創新的高靈敏度等離子發射檢測技術(PED),可精確測量H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar和NMHC氣體。其ProPeak鎖峰技術和直接分析方法確保了高的測量精度,廣泛應用于半導體生產和UHP氣體的質量控制。

創新型ULTRA系列產品中的一員,用于半導體過程應用的超微量級分析儀,可測量H2、CH4、CO、 CO2、N2、Ar和NMHC氣體.


性能:

創新的高靈敏度等離子發射檢 測儀 (PED),可測量超微量級 Ar、N2、H2、CH4、CO、CO2和NMHC

ProPeak鎖峰技術,確保超高測量靈敏度

直接分析法,可避免FID和RGD的測量不確定性


主要應用:

半導體生產 - 質量控制

半導體生產 - 臺式分析系統  

UHP氣體生產 - 質量控制



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