產品參數：

※ 備注

1：水平放置下的中心垂直負載。

2：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統在連續、穩定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統分辨率遠小于最小運動增量。考慮傳動結構和編碼器對系統誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。

3：精度測量數據是平臺在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數據

4：典型值和保證值的區別見技術指南。

5：最大速度為典型值，根據負載和控制器的不同會有區別。

主要特點：

無遮擋，性價比高

整體臺面升降臺專為需要無遮擋操作的系統搭建而設計，采用一體化絲杠電機驅動，運行平穩，結構緊湊，集成靈活，提供多種行程選擇，以經濟高效的方案滿足多樣化的應用需求。

主要特點：

多種行程可選，滿足更多應用需求： 提供50mm 和 120mm 三種行程選擇，結構緊湊，可靈活集成于各種空間受限的應用場景。

一體化絲杠電機，運行平穩可靠： 采用上海鳴志一體化絲杠電機，無需聯軸器，避免偏心擾動，運行更加平穩，保障長期穩定的可靠性。

高精度定位，穩定可靠： 采用優良的伺服電機驅動系統，搭配進口 C3 級絲杠和高精度 SP 級導軌，并集成光柵尺閉環控制，確保好的運動精度和長期穩定的可靠性。

大承載能力，應對挑戰： 穩固的結構設計，出色的承載能力，輕松應對重型負載挑戰。

相對快速響應，提升效率： 伺服電機驅動系統帶來更快的響應速度，提升工作效率。

整體臺面設計，無遮擋： 整體臺面設計，方便實驗裝置的安裝和固定，滿足無遮擋的應用需求。

高分辨率，精細控制： 可選配 0.5μm 光柵尺實現閉環控制，配合菲克科技高性能控制器，可實現亞微米級的精細定位，滿足對好的精度的追求。

斷電自鎖，安全可靠： 內置斷電自鎖功能，確保運行安全可靠。

強大軟件支持，輕松操控: 免費標準版 SDK，支持 Window、Linux 環境下多種開發語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用戶進行二次開發和系統集成。

高性能控制器，實現復雜運動: 控制器支持圓弧插補、直線插補、位置記憶和任意圖形導入，可滿足各種復雜運動控制需求。（選配）

靈活通訊，無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制，實現高速、穩定的數據傳輸。

產品應用：

樣品臺 Sample Stage、姿態調整 Posture Adjustment、光學測試 Optical Test、光學設備 Optical Equipment

性能實測：

產品尺寸：