測量范圍：-120～-40℃ 露點 （標定-100～-40℃）

精確度：-40～-60℃ 范圍為±1℃;-61～-100℃ 范圍為±2℃; -101～-120 范圍為±4℃（估）

分辨率：-40～-79.9℃ 范圍為01℃;-80～-100℃ 范圍為1℃；-100～-120 范圍為1～3℃

額定壓力：Z低為10-9torr；Z高為24MPa

氣流率：1～5 Nlmin-1

在線露點儀 半導體行業在線露點儀 高穩定性能在線露點儀

型號: JC06-Michell                            

簡單介紹 （變送器+國產二此表） 于半導體行業 Michell

●安裝簡便

●高度的穩定性和重復性

●測量范圍zui低達-120OC露點，相當于<1ppbV

●*精確度為±1℃露點

●4～20mA及RS 485輸出

●半導體工業表面處理和清潔 英國密析爾儀表有限公司（Michell）生產，專業的露點變送器生產廠商。

技術參數：

傳感器

類型：密析爾Ceramic 陶瓷濕度變送器

測量范圍：-120～-40℃ 露點 （標定-100～-40℃）

精確度：-40～-60℃ 范圍為±1℃;-61～-100℃ 范圍為±2℃; -101～-120 范圍為±4℃（估）

分辨率：-40～-79.9℃ 范圍為01℃;-80～-100℃ 范圍為1℃；-100～-120 范圍為1～3℃

額定壓力：zui低為10-9torr；zui高為24MPa

氣流率：1～5 Nlmin-1

電子電路

電源：額定24VDC，10V min., 28V max ,25 mA max

輸出：4～20mA可調,使用提供的界面軟件調，調節范圍1～80℃zui大負載=1k ? （28VDC 時），zui小負載=200?（10VDC 時）（50?/v）

出錯狀態顯示：標準的出錯誤狀況：23mA＝變送器故障；20mA＝超越測量

范圍；4mA＝小于測量范圍。這些設置能通過提供的軟件界面進行調節

機械結構

探頭：冷拉不銹鋼，內部0.1-0.2µm Ra鐳電鍍拋光

 

 

 

北京北信科儀分析儀器有限公司

地址：北京市昌平區西三旗龍旗廣場2號樓

：李

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