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    一個(gè)完整的真空系統(tǒng)的組成

    2016-8-17  閱讀(967)


    一個(gè)完整的真空系統(tǒng)的組成

     真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多,但無(wú)論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng),以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來(lái)說(shuō):一個(gè)真空處理用的容器,用管道和閥門(mén)將它與真空泵連接起來(lái),當(dāng)真空泵對(duì)容器進(jìn)行抽空時(shí),容器上要有真空測(cè)量裝置,這就構(gòu)成了一個(gè)zui簡(jiǎn)單的真空抽氣系統(tǒng)。

     

    1:zui簡(jiǎn)單的真空系統(tǒng)

          zui簡(jiǎn)單的真空系統(tǒng)只能在被抽容器內(nèi)獲得低真空范圍內(nèi)的真空度,當(dāng)需要獲得高真空范圍內(nèi)的真空度時(shí),通常在圖1所示的真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個(gè)高真空泵。當(dāng)串聯(lián)一個(gè)高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門(mén),以便高真空泵能單獨(dú)保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個(gè)油擴(kuò)散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器,通常在油擴(kuò)散泵的入口加一個(gè)捕集器——水冷障板(如圖2所示)。根據(jù)要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,這樣就構(gòu)成了一個(gè)較完善的高真空系統(tǒng)。

     

    2:高真空系統(tǒng)

        凡是由兩個(gè)以上真空泵串聯(lián)組成的真空系統(tǒng),通常都把抽低真空的泵叫做它上一級(jí)高真空泵的前級(jí)泵(或稱前置泵),而zui高一級(jí)的真空泵叫做該真空系統(tǒng)的主泵,即它是zui主要的泵,被抽容器中的極限真空度和工作真空度就由主泵確定。被抽容器出口到主泵入口之間的管路稱為高真空管路,主泵入口處的閥門(mén)稱為主閥。

        通常前級(jí)泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路,該管路上的閥門(mén)稱為予真空管道閥。主泵出口到前級(jí)泵入口之間的管路稱為前級(jí)管道,該管路上的閥門(mén)稱為前級(jí)管道閥,而軟連接管道是為了隔離前級(jí)泵的振動(dòng)而設(shè)置的。

        總起來(lái)說(shuō),一個(gè)較完善的真空系統(tǒng)由下列元件組成:

        1.抽氣設(shè)備:例如各種真空泵;

        2.真空閥門(mén);

        3.連接管道;

        4.真空測(cè)量裝置:例如真空壓力表、各種規(guī)管;

        5.其它元件:例如捕集器、除塵器、真空繼電器規(guī)頭、儲(chǔ)氣罐等。

        那么,究竟什么是真空系統(tǒng)?用一句話來(lái)概括,就是:用來(lái)獲得有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)。

        真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基本內(nèi)容:是根據(jù)被抽容器對(duì)真空度的要求,選擇適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計(jì)方案,進(jìn)行選、配泵計(jì)算;確定導(dǎo)管、閥門(mén)、捕集器、真空測(cè)量元件等,進(jìn)行合理配置,zui后劃出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖。



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