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技術(shù)文章
錦正茂科技高低溫探針臺T8-LY100技術(shù)參數(shù)
點擊次數(shù)：541 發(fā)布時間：2023-12-1
高低溫探針臺T8-LY100能夠為半導體芯片的電學參數(shù)測試提供一個80K-420K高低溫測試環(huán)境，通過外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于低溫環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。
技術(shù)參數(shù)：
1、真空腔體約直徑260mm，
2、帶有4英寸高透射觀察窗，材質(zhì)熔融石英
3、樣品載臺直徑：50mm 樣品載臺平整度<5微米
4、溫度范圍：80K-420K，控溫儀精度：0.1-0.5K
5、X-Y-Z行程范圍：±25mm*±25mm*0-12.5mm線性運動，位移精度：1um
6、預留光纖接入口做光響應測試
7、預留四個探針座的接口
8、探針長度38mm，直徑0.5mm，針尖直徑1um
9、兩套CCD相機（能看清1-2um）
10、耦合一套四軸應變裝置（定制）
11、三同軸射頻接口：4只，外接三同軸連接線雙向公頭，長度 2米
13、真空抽口KF50
14、重量：75kg
