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技術文章
探針臺選型應該注意哪些事項
點擊次數：681 發布時間：2023-10-18
探針臺是一種很專業的儀器，它主要的功能就是針對半導體元件進行檢測，這里面說的半導體元件指的是集成電路，分立器件，光電器件，傳感器等元件以及封裝的測試。通過探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓，電流，電阻和電容電壓特性曲線等參數檢測。可以適用于對芯片進行科研分析，抽查檢測等；可以保證這些半導體元件的質量，縮短研發時間和器件制作工藝的成本，所以，它的存在對于制造半導體的企業來說是非常重要的。
以下是探針臺選型注意事項
※zui大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，最小的單顆芯片尺寸？
※探針臺機械精度要求多高？
※點測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內部的metal線路？
※最多需要幾個探針同時去點測？
※是否會用到探針卡測試？
※光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？
※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？
※探針點測時，對電流的要求能否達到100fa或者以下？低電容要求能否要做到0.1pf？是否有射頻需求？
※接駁的測試儀器接口有哪些？
※測試環境時是否會需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？
※對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？