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技術文章
三維磁場探針臺T8-500-3的技術指標
點擊次數：646 發布時間：2023-7-14
北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺，采用無磁材料制成，采用亥姆霍茲線圈正交放置，產生空間多維磁場。線圈可采用自然冷卻（磁場較小）或水冷結構（磁場較大），標配線圈過熱保護裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時間穩定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流，可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現水平方向二維移動和360度轉動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。
技術指標：
型號：T8-500-3
材質：所選材料均為無磁材質
磁場范圍：500Gs
線圈材質：耐高溫漆包線
磁場均勻性：中心區50毫米球體內1%
電源穩定性：三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm
磁場分辨率：0.05 mT
角度分辨率：0.02°
樣品固定方式：吸盤或者壓片
樣品臺直徑：50mm可定制
顯微鏡：X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光
放大倍數：16~100X/20~4000X
探針臂數量：2、4可選
探針臂行程：25mm-25mm-12mm可更換
探針臂移動精度：10μm /2μm/1μm/0.7μm可選
探針長度：38mm
探針直徑：0.51mm
針尖直徑：10μm/5μm/1μm
探針材料：鎢/鈹銅/GGB
漏電精度：100fA
