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CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050 氣體質量流量控制器 CMQ系列是高機能型數字式氣體質量流量控制器，它使用了山武 公司研制的感熱式微型流量傳感單元和比例電磁閥的先進技術。 因此CMQ是一種高性能、低成本的產品。CMQ具有響應快、控制 范圍寬的特點，能滿足多種工業控制要求。