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　　勻膠機是一種在高速旋轉的基片上滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，主要應用于微機電系統的微加工、生物、材料、半導體、制版、新能源、薄膜、光學及表面涂覆等領域，或用于樣件較小無法使用提拉涂膜或刮膜的方式進行涂膜的基片的涂膜。
 

　　勻膠機主要具有以下特點？
 

　　1、旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求精密涂覆的實驗人員來說，可能無法獲得準確的實驗數據。
 

　　2、真空吸附系統：真空泵一般采用無油泵，即干泵，因為任何油污都可能堵塞真空管道。如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統造成堵塞。有的勻膠機通過聯動機制，在真空吸附力不夠時不會開始旋轉，可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統。
 

　　3、材質選擇：對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵。大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，但這種材質的成本較低，其中不銹鋼對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料則在較高溫度和壓力下易產生變形。變形如果引起托盤的位置失去水平，將會導致旋涂時產生時高時低的顛簸狀態，無法得到好的旋涂效果。因此，有的勻膠機會采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)等材質。