自從2020年Quantum Design中國子公司將英國Moorfield nanotechnology公司生產的臺式高精度薄膜制備與加工系統引進國內市場以來受到了國內科研工作者的廣泛關注。Moorfield Nanotechnology推出的臺式設備體積小巧但性能可以和大型設備相媲美，并且自動化程度高、操作簡單、性能可靠、配置靈活。設備所具有的這些優點正是現代實驗所需要的。Moorfield Nanotechnology長期收集用戶的需求并對產品線進行不斷的優化豐富，以滿足各種個性化的實驗需求。

近年來，越來越多的前沿研究中需要用到多種薄膜制備手段，而傳統的設備往往只有一種薄膜制備功能，制備一個樣品就需要先后在不同的設備中進行操作，并且容易對樣品的性質造成破壞。針對這樣的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了臺式高精度濺射與熱蒸發系統——nanoPVD ST15A。該系統可以集成金屬/絕緣體濺射、金屬熱蒸發、有機物蒸發功能，在同一臺設備中可以實現多種制備手段的組合，將薄膜制備帶入了新的高度。系統通過7英寸觸摸屏控制，自動化程度高，各種制備方式可以自由切換，甚至可以同時進行。用戶可以通過靈活的制備手段在在同一臺設備中制備不同的薄膜或者是復合薄膜。

nanoPVD ST15A外觀圖

設備技術特點

? 臺式設備配置靈活

? 磁控濺射、熱蒸發、有機物蒸發

? 三種制備手段可靈活組合

? 可制備金屬、有機物、電介質薄膜

? 多達3個流量計控制過程氣體

? 高精度自動氣壓控制選件

? 全自動觸屏操作系統

? 基片大至4英寸

? 可選基片加熱

? 本底真空<5 × 10^-7 mbar

? 可選共濺射（蒸發）功能

? 可選晶振膜厚標定功能

? 定義保存多個制備程序

? 全面的安全性設計

? 超凈間兼容

? 穩定的性能

左：nanoPVD ST15A 雙蒸發源與磁控濺射組合，右：系統的樣品臺與擋板

背景介紹

Moorfield Nanotechnology是英國材料科學領域高性能儀器研發公司，成立25年來專注于高質量的薄膜生長與加工技術，擁有雄厚的技術實力，推出的多種高性能設備受到科研與工業領域的廣泛好評。Moorfield公司近十年來與曼徹斯特大學諾獎技術團隊緊密合作，推出的臺式高精度薄膜制備與加工系列產品由于其體積小巧、性能優異、易于操作更是受到很多科研單位的贊譽。這些設備已經進入了歐洲多所科研院所的實驗室，諸如曼徹斯特大學、劍橋大學、帝國理工學院、諾森比亞大學、巴斯大學、埃克塞特大學、哈德斯菲爾德大學、萊頓大學、亞森工業大學、西班牙光子科學研究所、英國國家物理實驗室等單位都是Moorfield Nanotechnology的用戶和長期合作者。諸多的用戶與合作者讓產品的性能和設計理念得到了高速發展，并邁入全球化的進程。

Quantum Design中國子公司與Moorfield Nanotechnology正式合作，作為中國的代理和戰略合作伙伴，為中國用戶提供高性能的設備與優質的服務。除了臺式設備之外我們還提供多種大型設備和定制服務。目前國內已有包括清華大學、西湖大學、大連理工大學、廣東工業大學、中科院等多個單位采購了不同型號的Moorfield高性能薄膜制備與加工設備。

產品鏈接

1、臺式高性能多功能PVD薄膜制備系列—nanoPVD