• X方向采用滑動導軌作為水平移動的直線基準，導軌移動的距離采用度的光柵行計量；
• Z方向立柱也采用滑動導軌，并采用編碼器行測量，由電機-滾珠絲杠系統驅動；
• 可行粗糙度和輪廓度的測量，可測量、驅動、計算、顯示等，系統具有便攜能，可單使用，靈活方便；
• 測量軟件采用 Windows平臺，采用內新標準定義和評定，數學模型整；
• 具有調整作臺可行 Y向及各種擺角調整，用戶可根據需要自由選擇，調整使用方便，能齊；
• 測量參數多，可行直線度、曲率偏差、雙溝各種參數、平行差、度等參數的測量，并可對機械件的表面形貌如粗糙度等嚴格按照內標準行測量。
• 測量度，差動電感傳感器測量靈敏性可達 0.01μm以內，X向光柵靈敏性達0.5μm以內，Z方向可行大量程度位移測量，度達4μm；
• 測量控制位多，不僅行傳統的 Z方向小位移測量和X方向的位移測量，還可行Z方向的大位移測量；選用Y方向移動作臺可以測量零件的三維表面型貌。
• 采用微機控制，可手動或自動循環測量、自動消除安裝誤差、自動行量程變換、直接顯示所得形狀及各種參數，并可打印輸出，具有標準數據庫存儲數據。

件名稱	內容	件名稱	內容
X方向移動導軌類型移動長度直線度測量方式	度滑動導軌 200mm 0.5 μ m/100mm 光柵計數	Z方向移動(立拄) 導軌類型移動長度驅動方式測量方式	度滑動導軌 400mm 滾珠絲杠編碼器
輪廓形狀測量傳感器類別測量范圍顯示分辨率相對誤差半徑測量誤差	度差動電感式 ± 0.03mm，±0.5mm，±4mm 0.001μm,0.017μm,0.13μm 0.005FS 0.02-0.1 %	附件三維調整作臺旋轉作臺	水平、傾角、擺角調整安裝軸承
粗糙度測量測量參數測量范圍顯示分辨率粗糙度測量誤差	GB3505規定所有參數 R a 0.01～10μm 65536:1 2%+4nm	Y 向移動臺（選購）導軌類型移動長度直線度測量方式	三維形貌測量用滾動導軌 100mm 2 μ m/100mm 編碼器
可測量參數	GB3505規定所有輪廓、波紋度和粗糙度參數，曲率半徑、溝中心距、鎖口、凸度、對數曲線、基面、溝位置等軸承用參數。
硬件配置	DELL品機、液晶顯示器、打印機
測量軟件軟件平臺能	windowsXP 根據被測件情況自動選取、自動校正、自動分析，可手動或自動循環測量、自動消除安裝誤差、手動或自動行量程轉換、直接顯示所得形狀及各種參數，并可打印輸出?？梢愿鶕脩粢笤鰷p分析處理軟件。

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表面形貌測量儀可行直線度、曲率偏差、雙溝各種參數、度等參數的測量

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