精密勻膠機Smart Coater 100
閱讀:752 發布時間:2014-5-27
特性優點:
的內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。
7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。
on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。
標準配置轉速10000rpm,并可根據用戶需要進行定制。
采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發。
主要性能指標:
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
旋涂程序:zui多可存100組程序,每組100步,每個步驟可到0.1秒
轉動速度:0-10,000rpm(可選更高速)
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1%
轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm
工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec
支持wafer尺寸1cm-200mm
旋涂作業均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)
設備尺寸 32cm W × 44cm D × 30cm H