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honeywell氣流傳感器
有的氣流傳感器都是依靠傳熱流量和壓??差來操作的。硅芯片設(shè)計(jì)由薄膜隔熱橋結(jié)構(gòu)構(gòu)成，包含加熱器和溫度感應(yīng)元件。這提供了對(duì)空氣或氣體流量以及量和方向的快速響應(yīng)，從而提供成比例的輸出電壓。放大版本提供增強(qiáng)的輸出信號(hào)和更少的外部電路，而未放大的版本允許額外的外部電路選項(xiàng)。
霍尼韋爾提供：
*芯片設(shè)計(jì)，制造技術(shù)和微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)
增強(qiáng)的響應(yīng)時(shí)間和低功耗
各種端口類型提供了更大的應(yīng)用靈活性
概觀
包含增強(qiáng)傳感器輸出信號(hào)的附加電子元件。
按類型瀏覽放大型氣流傳感器可分為：

霍尼韋爾Zephyr?HAF系列 - 高精度±50 SCCM至±750 SCCM
霍尼韋爾（中國(guó)）Zephyr?HAF系列傳感器提供了一個(gè)數(shù)字接口，用于在的滿量程流量和補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)讀取氣流。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助這些傳感器對(duì)空氣或氣體流動(dòng)提供快速響應(yīng)。
Zephyr傳感器設(shè)計(jì)用于測(cè)量空氣和其他非腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍有±50，±100，±200，±400或±750 SCCM。自定義流量范圍也是可用的。傳感器通過板載集成電路（ASIC）進(jìn)行*校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。
HAF系列可在0°C至50°C（32°F至122°F）的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償，并可在-20°C至70°C（-4°F至158°F ]。的基于ASIC的補(bǔ)償功能可提供數(shù)字（I 2 C）輸出，響應(yīng)時(shí)間為1 ms。
這些傳感器根據(jù)傳熱原理來測(cè)量質(zhì)量氣流。它們由微晶硅微電子和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）組成，溫敏電阻沉積有鉑和氮化硅薄膜。MEMS傳感芯片位于且精心設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi)，以提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。
Zephyr傳感器為客戶提供增強(qiáng)的可靠性，高精度，可重復(fù)的測(cè)量以及定制傳感器選項(xiàng)以滿足許多特定應(yīng)用需求的能力。堅(jiān)固的外殼與穩(wěn)定的基材組合使這些產(chǎn)品非常堅(jiān)固。它們根據(jù)ISO 9001標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)和制造。

霍尼韋爾Zephyr?HAF系列 - 高精度10 SLPM至300 SLPM
概觀
霍尼韋爾（中國(guó)）Zephyr?HAF系列傳感器提供了一個(gè)數(shù)字接口，用于在的滿量程流量和補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)讀取氣流。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助這些傳感器對(duì)空氣或氣體流動(dòng)提供快速響應(yīng)。
Zephyr傳感器設(shè)計(jì)用于測(cè)量空氣和其他非腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為10 SLPM，15 SLPM，20 SLPM，50 SLPM，100 SLPM，200 SLPM或300 SLPM，并提供定制流量范圍。傳感器通過板載集成電路（ASIC）進(jìn)行*校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。
HAF系列> 10 SLPM在0°C至50°C [32°F至122°F]的校準(zhǔn)溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償。基于ASIC的補(bǔ)償功能可提供數(shù)字（I 2 C）輸出，響應(yīng)時(shí)間為1 ms。
這些傳感器根據(jù)傳熱原理來測(cè)量質(zhì)量氣流。它們由微晶硅微電子和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）組成，溫敏電阻沉積有鉑和氮化硅薄膜。MEMS傳感芯片位于且精心設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi)，以提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。
Zephyr傳感器為客戶提供增強(qiáng)的可靠性，高精度，可重復(fù)的測(cè)量以及定制傳感器選項(xiàng)以滿足許多特定應(yīng)用需求的能力。堅(jiān)固的外殼與穩(wěn)定的基材組合使這些產(chǎn)品非常堅(jiān)固。它們根據(jù)ISO 9001標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)和制造。

AWM3000系列
和AWM2000系列一樣，雙惠斯通電橋控制氣流測(cè)量。AWM3000系列被放大; 因此，它可以用來增加增益并為傳感器輸出引入電壓偏移。加熱器控制電路和感測(cè)電橋供電電路在包裝上。
小心：產(chǎn)品損壞
AWM系列Microbridge質(zhì)量型氣流傳感器不能用于檢測(cè)液體流量，并且會(huì)因流經(jīng)傳感器的液體而受損。
不遵守這些說明可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品損壞。

AWM5000系列
在線流量測(cè)量
AWM5000系列Microbridge質(zhì)量型空氣流量傳感器配有文丘里型流量外殼。他們測(cè)量的流量高達(dá)每分鐘20標(biāo)準(zhǔn)升（SLPM），同時(shí)引起2.25“H 2 O的zui大壓降。微橋芯片直接與流體接觸，大大減少了由于孔口或旁通通道堵塞。
堅(jiān)固耐用的多功能包裝
堅(jiān)固耐用的塑料包裝設(shè)計(jì)可承受高達(dá)50 psi的共模壓力，而小型傳感元件可承受100 g的沖擊而不影響性能。隨附的“AMP”兼容連接器可在苛刻的應(yīng)用中提供可靠的連接。
板載信號(hào)調(diào)理
每個(gè)AWM5000傳感器都包含執(zhí)行放大，線性化，溫度補(bǔ)償和氣體校準(zhǔn)的電路。無論流量范圍（5,10,15或20 SLPM）還是校準(zhǔn)氣體（氮?dú)猓趸迹趸瘉喌驓鍤猓星鍐味伎梢允褂?至5 Vdc線性輸出。所有校準(zhǔn)均由主動(dòng)式激光器執(zhí)行。
小心：產(chǎn)品損壞
AWM系列Microbridge質(zhì)量型氣流傳感器不能用于檢測(cè)液體流量，并且會(huì)因流經(jīng)傳感器的液體而受損。 

AWM700系列
AWM700系列微型大流量氣體流量傳感器提供在線流量測(cè)量，并配有專門設(shè)計(jì)的旁路流量外殼。傳感器測(cè)量的流量高達(dá)200標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘（SLPM），同時(shí)通常導(dǎo)致1英寸水柱的壓降。AWM700在小型封裝中具有高流量范圍功能。傳感器的響應(yīng)時(shí)間為6毫秒，需要10 Vdc電源，但功耗僅為60 mW。緊湊的塑料包裝可承受25 psi的超壓而不影響性能。嵌入式AMP兼容連接器提供可靠的連接。該傳感器也非常適用于便攜式設(shè)備和電池供電應(yīng)用。AWM700系列傳感器結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的可靠性，高精度，以及用于醫(yī)療通風(fēng)市場(chǎng)和醫(yī)療和分析儀器應(yīng)用的操作特性。其壽命的準(zhǔn)確性減少了重新校準(zhǔn)的需要。AWM700傳感器電路執(zhí)行放大和溫度補(bǔ)償。
小心：產(chǎn)品損壞
AWM系列Microbridge質(zhì)量型氣流傳感器不能用于檢測(cè)液體流量，并且會(huì)因流經(jīng)傳感器的液體而受損。 

AWM40000系列
概觀
手術(shù)
微橋空氣質(zhì)量流量傳感器根據(jù)傳熱理論進(jìn)行工作。質(zhì)量氣流被引導(dǎo)穿過感測(cè)元件的表面。輸出電壓與通過封裝的入口端口和出口端口的質(zhì)量空氣或其他氣體流量成比例變化。專門設(shè)計(jì)的外殼地指導(dǎo)并控制穿過微結(jié)構(gòu)傳感元件的氣流。封裝的機(jī)械設(shè)計(jì)使其可以方便地安裝到印刷電路板上。
微橋空氣質(zhì)量流量傳感器采用*微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)，具有*的硅芯片。它由包含加熱器和溫度感測(cè)元件的薄膜隔熱橋結(jié)構(gòu)組成。橋結(jié)構(gòu)對(duì)芯片上空氣或其他氣體的流動(dòng)提供了靈敏而快速的響應(yīng)。位于中央加熱元件兩側(cè)的雙感測(cè)元件指示流動(dòng)方向和流速。激光微調(diào)厚膜和薄膜電阻器提供從一個(gè)設(shè)備到下一個(gè)設(shè)備的一致互換性。
微橋空氣質(zhì)量流量傳感器使用沉積在氮化硅薄膜內(nèi)的溫度敏感電阻器。它們以兩個(gè)橋的形式懸浮在硅的蝕刻腔中。芯片位于尺寸的氣流通道中，以提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。通過蝕刻流量傳感器橋下方的腔體空間來獲得對(duì)加熱器和感測(cè)電阻器的高度有效的熱絕緣。微橋傳感器質(zhì)量流量傳感器的小尺寸和隔熱性能是對(duì)流量響應(yīng)速度極快，靈敏度高的原因。
雙惠斯通電橋控制氣流測(cè)量 - 一個(gè)提供閉環(huán)加熱器控制，另一個(gè)包含雙傳感元件。通過提供與質(zhì)量流量成比例的輸出，加熱器電路使由于環(huán)境溫度變化而引起的移位zui小化。該電路使加熱器溫度保持在高于環(huán)境空氣溫度的恒定差分（160°C），該溫度由芯片上的熱沉電阻器感測(cè)。器件的比例電壓輸出對(duì)應(yīng)惠斯通電橋電路的差分電壓。
注意
可以將由于某些應(yīng)用而導(dǎo)致的灰塵污染的影響降至zui低。通過設(shè)計(jì)，可能存在于氣流中的塵粒將平行于芯片表面流過芯片。另外，微結(jié)構(gòu)芯片產(chǎn)生熱泳效應(yīng)，從橋結(jié)構(gòu)排斥微米級(jí)的塵埃顆粒。
一個(gè)簡(jiǎn)單的過濾器將防止灰塵粘附到切屑邊緣和通道表面。在氣流裝置的上游側(cè)使用一次性使用的五微米過濾器，可以在大多數(shù)應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)充分的過濾。
小心：產(chǎn)品損壞
AWM系列Microbridge質(zhì)量型氣流傳感器不能用于檢測(cè)液體流量，并且會(huì)因流經(jīng)傳感器的液體而受損。
不遵守這些說明可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品損壞。