作為精密元素分析儀器之一，XRF分析儀在分析元素時，經常會出現同一個樣品檢測的精度不一樣的現象，多數操作者多一位是儀器出現故障。其實不然，那么XRF這款精度儀器在使用過程中，會受到那些因素的影響而導致結果出現偏差。
時間
一般來說，檢測的時間越長，精度就越，ROHS分析儀30~600秒；合金分析儀10~60秒；礦石分析儀：30~90秒，
均質
樣品一定要均勻，盡量不要出現凹凸不平，凹凸的樣品很容易出現偏差。樣品好額平面放在某處，
材質
不同的物質結果不一致，那是肯定的就算同是合金材料也分鐵、鋁、鎂等不同元素組成。
粒度
被檢測的樣品越小越好，樣品大小和儀器的顯示屏差距不大是好，如果檢測樣品過于龐大，比較容易出現樣品元素組成不一樣，導致元素的含量與成分結果就不一樣。
厚度
XRF分析儀，有個很明顯的特點，就是對樣品的厚度有一定限制，特別是很多合金樣品可能會在材料商涂層銅、金屬、塑膠，這個時候檢測材質需要對樣品的表層進行處理，才能保證檢測結果的。
合金材料的佳檢測厚度：
聚合物與輕合金固體5MM
其他合金1MM;
液體15MM，
濕度:干燥
元素干擾
樣品中測試元素的特征譜線的強度會受到其它元素的干擾
典型的干擾如下：
鎘：可能的干擾來自溴，鉛，錫，銻
鉛：可能的干擾來自溴
：可能的干擾來自溴，鉛，以及樣品中濃度的鈣和鐵
鉻：可能的干擾來自氯
溴：可能的干擾來自鐵及鉛
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