微型真空泵，是具備出的抽氣嘴、排氣嘴各個，并且在口處能夠持續形成真空或負壓;排氣嘴處形成微正壓;作介質主要為氣體，體積小巧的種儀器。
原理
微型真空泵的基本原理:電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內的空氣行壓縮、拉伸形成真空(負壓)，在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓(吸)入泵腔，再從排氣口排出。
將個密閉容器(開始時，內是常壓100KPa)，接上微型真空泵，對它行持續抽氣，zui后密閉容器內的氣體壓力就會低于大氣壓，達到60KPa的壓力。不但如此，經過殊的改，除了單抽氣的微型真空泵外，還可以形成抽氣打氣兩用的微型真空泵(即排氣端可以產生大的正壓)，用于增壓、充氣、克服系統阻力等等以及非常的水氣兩用微型真空泵，它可以用于需要長期空轉、干轉等等場合，不像般的水泵空轉，或者干轉就會損壞泵。
正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染作介質，而且具有體積小巧、噪音低、免維護，可以連續24小時運轉等優點，所以微型真空泵被作為動力裝置，廣泛用于氣體采樣、氣體循環、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在療、衛生、科研、環保等域得到了廣泛的應用。
注意問題
還有些和選型相關的問題羅列如下，根據使用情況考慮。
1、帶負載啟動問題。
如果微型氣泵在啟動前它的抽氣口就已經存在真空或排氣口已經存在壓力，則要考慮泵的另參數:氣口zui大啟動負載Pis值，排氣口zui大啟動負載Pos值。典型應用事例就是使用微型氣泵維持容器內的真空或正壓狀態，當容器內的真空或正壓低于設定值時，需要泵通電啟動，于設定值時停機。可以在自身能達到的限真空度下啟動的產品有:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列;可以在自身能達到的zui大輸出壓力下啟動的產品有:FM系列、FAA系列、PCF系列。 該性能對制商的水平要求較。
2、微型泵的介質溫度問題。
根據通過泵的介質氣體的溫度，選擇要普通型的還是要溫型的。
3、微型泵的可靠性問題。
根據微型泵出故障后產生后果的嚴重性而定，根據自己的要求。品的平均*連續運行時間都大于1000小時，有的到數千小時。別注意，這項參數是在滿負荷、不間斷的運行狀態下測定的，是zui惡劣的況，如果實際使用不是滿載或連續運行，該數值會些，多少視泵的況而定。該性能是考驗制商的實力，從產品外觀上可以看出些，如采用制電機而非普通低價電機、體積相當的情況下重量較重等。根據產品價格也可略知二。
4、微型泵的電磁干擾問題。
如果有電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。
微型真空泵應用范圍
科研，氣體采樣，儀器儀表，化分析，療保健，藥衛生，生物程，自動控制，環保，水處理等眾多域。
