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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>分析儀器>色譜>氣相色譜(GC)> Thermo Fisher 潔凈室AMC在線監(jiān)測系統(tǒng)

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Thermo Fisher 潔凈室AMC在線監(jiān)測系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 賽默飛世爾環(huán)境與過程
  • 品牌 Thermofisher Scientific/賽默飛世爾
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/5/30 9:20:42
  • 訪問次數(shù) 51

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賽默飛世爾科技(紐約證交所代碼:TMO)是科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者。公司年銷售額170億美元,在50個(gè)國家擁有約50,000名員工。我們的使命是幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。我們的產(chǎn)品和服務(wù)幫助客戶加速生命科學(xué)領(lǐng)域的研究、解決在分析領(lǐng)域所遇到的復(fù)雜問題與挑戰(zhàn),促進(jìn)醫(yī)療診斷發(fā)展、提高實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)力。借助于首要品牌Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific和Unity Lab Services,我們將創(chuàng)新技術(shù)、便捷采購方案和實(shí)驗(yàn)室運(yùn)營管理的整體解決方案相結(jié)合,為客戶、股東和員工創(chuàng)造價(jià)值。欲了解更多信息,請瀏覽公司網(wǎng)站:www.thermofisher.com。

 

賽默飛世爾科技中國

賽默飛世爾科技進(jìn)入中國發(fā)展已有30多年,在中國的總部設(shè)于上海,并在北京、廣州、香港、中國臺灣、成都、沈陽、西安、南京、武漢、昆明等地設(shè)立了分公司,員工人數(shù)約3700名。我們的產(chǎn)品主要包括分析儀器、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、試劑、耗材和軟件等,提供實(shí)驗(yàn)室綜合解決方案,為各行各業(yè)的客戶服務(wù)。為了滿足中國市場的需求,現(xiàn)有8家工廠分別在上海、北京和蘇州運(yùn)營。我們在全國共設(shè)立了6個(gè)應(yīng)用開發(fā)中心,將世界級的前沿技術(shù)和產(chǎn)品帶給國內(nèi)客戶,并提供應(yīng)用開發(fā)與培訓(xùn)等多項(xiàng)服務(wù);位于上海的中國創(chuàng)新中心結(jié)合國內(nèi)市場的需求和*技術(shù),研發(fā)適合中國的技術(shù)和產(chǎn)品;我們擁有遍布全國的維修服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)和特別成立的中國技術(shù)培訓(xùn)團(tuán)隊(duì),在全國有超過2000名專業(yè)人員直接為客戶提供服務(wù)。我們致力于幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。欲了解更多信息,請登錄網(wǎng)站 www.thermofisher.com。

 

聯(lián)系方式:

電話:800-810-5118, 400-650-5118(支持手機(jī))

售前咨詢電子郵箱:sales.china@thermofisher.com

售后服務(wù)電子郵箱:cru.cn@thermofisher.com

 

 

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  “賽默飛世爾”微信

分析儀器,通用實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,臨床診斷設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
適用行業(yè) 其他 儀器種類 在線
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,電氣

AMC?

AMC氣態(tài)分子污染物(Airborne Molecular Contamination)是指存在于空氣中的氣態(tài)化學(xué)物質(zhì)或揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs),可能對產(chǎn)品、制程或人員造成負(fù)面影響。這類污染物通常無法通過傳統(tǒng)的微粒過濾器(如HEPAULPA)去除,需要特殊控制措施。


AMC

根據(jù)Semi F21-1016標(biāo)準(zhǔn)中所定義,AMC分為MA(酸性物質(zhì)/MB(堿性物質(zhì))/MC(凝結(jié)物質(zhì))/MD(參雜物質(zhì)/MM(金屬物質(zhì))五大類,其中包含了常見的NH3、SO2、H2S、VOCs、HF、HCI等。


AMC

AMC的來源相當(dāng)廣泛,如制程使用的化學(xué)品、外氣所含的污染物、無塵室中建材釋出、人員排放等等。


AMC

微小的AMC物質(zhì)進(jìn)入無塵室后,可能造成蝕刻制程不良率提高、光阻劑變質(zhì)、晶圓污染或氧化、光學(xué)鏡頭霧化等問題,甚至可能會影響到人體健康,因此,源頭管理、實(shí)時(shí)監(jiān)測與控制污染物濃度的AMC管理將成為無塵室核心的研究課題之一。


AMC在線監(jiān)測系統(tǒng)組成

一套完整的AMC在線監(jiān)測系統(tǒng),具有以下組成要件:

● 取樣系統(tǒng):多流路取樣系統(tǒng)與取樣管路安裝,選擇不影響分析結(jié)果的材料,配合監(jiān)測點(diǎn)規(guī)劃,有效了解無塵室整體環(huán)境情況。

● 分析儀:根據(jù)客戶需求不同,Thermo Fisher可提供多種在線分析儀配置,如NH3、H2S、VOCs、各種陰陽離子、特殊組分VOCs等,根據(jù)生產(chǎn)節(jié)點(diǎn)不同,去分析關(guān)鍵物質(zhì)與對應(yīng)濃度。

● 數(shù)據(jù)收集系統(tǒng):將不同分析儀的數(shù)據(jù)匯整并顯示出各點(diǎn)位的歷史數(shù)據(jù),再配合傳輸要求,可將數(shù)據(jù)傳輸至客戶接收端,配合報(bào)警系統(tǒng),有效早期預(yù)判污染物的上升趨勢,進(jìn)而調(diào)整無塵室濾材的更換頻次,大幅提高效率。



序號

分析儀型號

技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品應(yīng)用


1


8000系列色譜分析儀

分析目標(biāo):TVOC

分析原理:FID

LDL:z低可達(dá)0.1ppb

可根據(jù)客戶需求訂制多種組分,如IPA、Acetone以及苯系物等常見溶劑,提前預(yù)警MC的危害。


2


Thermo Fisher 17i

分析目標(biāo): NO, NH3

分析原理:化學(xué)發(fā)光法 LDL:1ppb

NH3為半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中常見特氣,具有強(qiáng)烈腐蝕性,17可有效監(jiān)測快速響應(yīng)NH3的濃度變化,還可同時(shí)測量NOx氮氧化物的濃度。

 

3

 

Thermo Fisher 450i

分析目標(biāo):H2S/SO2

分析原理:紫外脈沖熒光法 LDL:0.5ppb

硫化物可能會在空氣中形成硫酸鹽顆粒,水溶后會產(chǎn)生腐蝕性酸,450i可提供快速有效分析H2S/SO2濃度監(jiān)測。

 

4

 

Thermo Fisher IC離子色譜

分析目標(biāo):各種陰陽離子

分析原理:離子色譜法 LDL:0.1ppb

以在線方式分析空氣中的各種離子態(tài)物質(zhì)如F-、Cl-、NH4+等,提前預(yù)警離子態(tài)物質(zhì),降低對芯片的影響。

其他如 Online GCMS分析特殊有機(jī)物、Online ICPMS分析空氣中金屬離子等其他特殊需求請咨詢賽默飛應(yīng)用專家。


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