1.1.6英寸/8英寸/12英寸探針臺體

12卡盤XN軸平面無間隙氣學尖速移動，移動速率可調，單手控制,快速移動行程:8英寸X8英寸，任意位置自動鎖止，

探針臺

同時X/Y軸平面無間隙微調移動行程:8英寸X8英寸，精度:1um13.卡盤Z軸無間隙升降移動，行程:0~10mm，微調精度:1um1.4:探計平臺快速升降行程00.3/3.0mm并帶自動鎖定功能

1.5探針平臺微調升降行程+25mm，微調精度:1um，升降高度可顯示

1.6.顯微鏡底座在X-Y軸平面內微調移動，行程:2英寸X2英寸，精度1微米

1.7.顯微鏡Z軸氣浮快速升降，行程0~50mm，升降速率可調18.高分辨顯微觀察系統，光學分辨率05um，配合2000萬像素高清工業相機和液晶顯示器，帶拍照、錄像和尺寸測量軟件

1.9.直流、脈沖、高壓、大電流、高頻深針均可配置。

21.6英寸/8英寸/12英寸高溫卡盤，同軸結構，背柵電極測試，可兼容Banana、

BNC、SHV、TRIAX、HVTRIAX等測試接口

高溫卡盤

22溫度范圍:RT室溫~+400C

23.溫度分辨率: 01°℃

24.溫度穩定性:±0.1°C

25.控溫方式:PD溫控器，比例微積分算法

3.1.電壓范圍:+1500V，+3000V，+5000V，+10KV

32電流范圍:+500A，+1500A

3

高低IV/CV儀表

33.電壓最小分辨率:200 UV

3.4.電流最小分辨率:10AA

3.5.多頻電容測量范圍:1kHzto5 MHz

4.1.人機交互界面多功能件;

測試軟件

42.,具備數據圖形化分析功能，具備輸出通道、測試通道、輸出類型、掃描模式,電壓/電流參數、掃描步長、輸出延遲、循環次數、接線方式設置功能;4.3.可實時測得V曲線、V曲線T、VT實時線線:

4.4.波波設置，對測量值取平均;

4.5.,手動設管輸出和測量的量程范圍，也可設置自動量程;

4.6,設置測量積分時間，控制從速率和精確度

4.7.通訊接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN;