二、產品工作描述
2.1工藝步驟
涂膠（放片、滴膠、旋轉、取片）→烤機（放片、烘烤、取片）→轉移下道工序（曝光）→顯影（放片、旋轉顯影和水洗、甩干、取片）→（轉移下道工序）。
2.2控制系統
控制系統由7寸觸摸屏和PLC控制模式，實時顯示設備運行過程中各工藝功能執行情況。 可實現自由的配方編輯，自由修改、編輯、存儲、及調用工藝配方等。
三、規格
項目/Item | 規格 |
主體
| 外觀：不銹鋼 模組：勻膠、熱板、顯影； |
旋轉涂布模塊 | 轉速：20-5000 R.P.M 轉速精度: ±1 rpm 加速度：350-10000RPM/S 減速度：350-10000RPM/S 時間：1-3000S 均勻性:≤2% 控制方式: PLC 配方：50組20步 附件：無油真空泵 吸盤規格（10mm、25mm、2英寸、4英寸、6英寸以及嵌入式可選） |
烤膠模塊
| 溫度范圍:RT~300℃ 處理尺寸≤?200mm 溫度均勻性≤±1.5% 控溫精度±0.2℃ |
顯影參數 | 處理樣品尺寸：6寸以內 承盤:特氟龍 轉速：20-3000 R.P.M 轉速精度：±1RPM 搖臂：自動 藥液裝置：一路顯影、一路水 配方：可多步編程和程序存儲 附件：無油真空泵一臺； 吸盤一只（4、6寸兼容） |
四、系統需求
項目 | 描述& 規格 |
系統需求 | 排風:160 m3/h 真空:>-60 Kpa 壓縮空氣:5kg 氮氣/:3kg 水4*6mm 2.0Kgf/cm2 電壓：220V\50HZ |
五、設備尺寸
5.1尺寸&重量
參考尺寸：（寬*深*高）1600*800*2000mm
重量: 300KG
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