規格說明

粒子量測范圍：0.1um - 5um

通道：0.1、0.2、0.3、1.0、3.0、5.0um

傳感器：雷射二極管

顯示屏幕：7 英寸 WVGA，觸控屏幕，帶有縮放功能

數據輸出：USB 端口、以太網絡、WiFi (選配)

語言：英文、中文、日文、韓文

尺寸和重量：寬12英寸X 深12英寸X 高9英寸，26.5 磅

輸入電源：100-240 VAC，50/60 赫茲

電池：2顆 鋰電池，可熱插入

美國Pentagon Technologies ST表面塵埃粒子理化分析儀是當今行業標準的測量工具及過程控制表面顆粒污染解決方案專家. 

更加有效管控表面粒子在0.1 um范圍成為了至關重要的產量良率及過程控制測量的重要指標。

Pentagon Technologies針對從submicron至deep submicron (0.18, 0.13..) 的Production機臺, 建立了特別的PM procedure可降低50% Test Wafer的消耗量及增加OEF(Overall Equipment Effectiveness), 其應用于各種Thin Film( PVD, CVD..), Etching and Diffusion Equipments. 以及工作臺面積臺表面潔凈度等的驗證. 

Pentagon Technologies 亦針對Fab整體的contamination可提供詳細的偵測及評估進而提高OFE (Overall Fab Effectiveness), 這可提供QA人員非常advanced的幫助。

適合使用單位:

•適合客戶群: 半導體黃光, 蝕刻制程, 零件清洗商,設備清潔維護, 光電廠, 玻璃基板廠等

•適合單位 : PVD, CVD, Photo, Ion Plant, YE, QA, QC ,  Microntation , Etch, Diffusion.