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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>納米壓印設備> 150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預處理設備

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150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預處理設備

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青島天仁微納科技有限責任公司成立于2015年,是引新的納米壓印設備和解決方案提供商。公司的核心競爭力是為客戶提供納米壓印整體解決方案。產品與服務涵蓋納米壓印相關的設備、模具、材料、工藝以及生產咨詢服務。我們致力于拓展納米壓印技術在創新產品領域的應用,例如發光二極管(LEDs)、微納機電系統(MEMs/NEMs)、虛擬現實和增強現實光波導(AR Waveguides)、3D傳感、生物芯片、顯示以及太陽能等。

微納加工設備,配套材料,配套產品,相關領域的技術咨詢服務

全自動納米壓印光刻基底預處理;

Cassette to cassette機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能;

毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗;

旋涂勻膠,包含自動供膠系統、EBR、BSR等功能;

熱板烘烤、冷板冷卻功能;

可選配Plasma表面處理功能。



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