官方微信|手機版
產品展廳
產品求購企業資訊會展
化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>干法工藝設備>等離子體刻蝕設備>customized-14 深硅刻蝕系統DEEP SI ETCH
深硅刻蝕系統刻蝕設備刻蝕系統OXFORD
聯系方式：謝澤雨19842703026 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。
致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。
公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。
冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發
1. 產品概述
提供深硅蝕刻（DSiE）領域的MEMS，封裝和納米技術的廣泛應用，從光滑側壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕，不需要更換腔室硬件就可以實現。百科：深硅刻蝕系統的原理既包括利用等離子體中的活性粒子進行物理和化學作用的等離子體刻蝕技術，也包括通過化學反應去除材料的濕法刻蝕技術。
2. 設備特點
光滑側壁工藝；
高刻蝕速率腔刻蝕;
高深寬比工藝;
錐形通孔刻蝕;
機械或靜電壓盤,加熱內襯;
延長了兩次清洗間的平均時間間隔（MTBC）環形激光陀螺反射鏡;
X射線光學系統;
紅外（IR）傳感器;
II-VI族材料，通信濾波器。
關于我們|本站服務|旗下網站|友情鏈接|法律聲明|聯系我們
隨時掌握行業動態
采購專員1對1咨詢
會員登錄新用戶注冊 ＞
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
*您想獲取產品的資料：
個人信息：
該企業已關閉在線交流功能
聯系方式
深圳市矢量科學儀器有限公司
如需緊急咨詢，歡迎您的來電
在線客服：0571-87858618 展會合作：0571-87759900 投訴熱線：0571-87858619 
采購中心
化工儀器網