產品描述

iMicro采用InForce 1000驅動器進行納米壓痕和通用納米機械測試，并可選擇添加InForce 50驅動器來測試較軟的材料。InView軟件是一個靈活的現代軟件包，可以輕松進行納米級測試。iMicro是內置高速InQuest控制器和隔振門架的緊湊平臺。 可以測試金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等各種不同的材料和器件。

主要功能

• InForce 1000驅動器，用于電容位移測量，并配有電磁啟動的可互換探頭

• 可選的InForce 50驅動器提供50mN的法向力來測量軟性材料，并提供可選的Gemini 2D力荷載傳感器用于雙軸動態測量。軟件集成探頭校準系統，可實現快速準確的探頭校準

• InQuest高速控制器電子設備，具有100kHz數據采集速率和20μs時間常數

• XY移動系統以及易于安裝的磁性樣品架

• 高剛度龍門架，集成隔振功能

• 帶數字變焦的集成顯微鏡，可實現精確的壓痕定位

• ISO 14577和標準化測試方法

• InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、InView大學在線培訓和InView移動應用程序

主要應用

• 硬度和模量測量(Oliver Pharr)

• 高速材料性質分布

• ISO 14577硬度測試

• 聚合物tan delta，儲存和損耗模量

• 定量刮擦和磨損測試

• 樣品加熱

工業應用

• 大學、研究實驗室和研究所

• 半導體行業

• PVD / CVD硬涂層（DLC，TiN）

• MEMS（微機電系統）/納米級通用測試

• 陶瓷和玻璃

• 金屬和合金

• 制藥

• 涂料和油漆

• 復合材料

• 電池和儲能

• 汽車和航空航天

硬度和模量測量（Oliver Pharr）

機械表征在薄膜的加工和制造中至關重要，其中包括汽車工業中的涂層質量，以及半導體制造前段和后段的工藝控制。

iMicro納米壓痕儀能夠測量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。 對這些特性的高速評估保證了在生產線上進行質量控制。

高速材料性質分布

對于包括復合材料在內的許多材料，其機械性能可能因部位而異。 iMicro的樣品平臺可以在X軸和Y軸上移動100mm，并在Z軸方向移動25mm，這使得該系統適用于不同的樣品高度并可以在很大的樣品區域上進行測量。 可選的NanoBlitz形貌和層析成像軟件可以快速繪制任何測得的機械屬性的彩色分布圖。

ISO 14577硬度測試

iMicro納米壓痕儀包括預先編寫的ISO 14577測試方法，可測量符合ISO 14577標準的材料硬度。 該測試方法對楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標準化壓痕進行自動測量和報告。

聚合物Tan Delta、儲存和損失模量

iMicro納米壓痕儀能夠針對包括粘彈性聚合物的超軟材料測量tan delta和儲存與損耗模量。 儲存與損耗模量以及tan delta是粘彈性聚合物的重要特性，其能量作為彈性能量存儲并作為熱量消耗。 這兩個指標都用于測量給定材料的能量消耗。

定量劃痕和磨損測試

iMicro納米壓痕儀 可以對各種材料進行刮擦和磨損測試。 涂層和薄膜會經過化學機械拋光（CMP）和引線鍵合等多道工藝，考驗薄膜的強度及其與基板的粘合性。 重要的是這些材料在這些工藝中抵制塑性變形，并且保持原樣而不會基板起泡。 理想地，介電材料應具有高硬度和彈性模量，因為這些參數有助于確定材料在制造工藝下會如何反應。

高溫納米壓痕測試

高溫下的納米壓痕對于表征熱應力下的材料性能至關重要，特別對熱機械工藝中的失效機理進行量化。 在機械測試期間改變樣品溫度不僅能夠測量熱引起的行為變化，還能夠量化在納米級別上不易測試的材料過渡塑性。