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SPM300系列半導體參數測試儀

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北京卓立漢光儀器有限公司是一家集光學、精密機械、電子、計算機技術于一體的高*技術企業。卓立漢光自1999年起,通過數年的不斷努力,成長為光電儀器廠商之一。目前公司的電控位移臺、手動位移臺、光學調整架等產品已經形成產品系列化,規格多元化,國內多家科研單位、激光加工設備廠商、光纖設備廠商在使用我們的產品。2000年推出我司套量產型三光柵光譜儀后,不斷推出了多套熒光、拉曼、光電探測器光譜響應、太陽能電池檢測等光譜測量系統,廣泛應用在眾多高校和科研院所的研究與試驗,為國家科技創新貢獻了一份力量,產品憑借優良的品質遠銷歐美、東南亞等海外市場。 2005年10月在同行業中通過ISO9001質量管理體系SGS認證。2010年取得國家高*技術企業認定,2016年卓立漢光技術中心順利通過市級技術中心評審。

 

卓立漢光主要生產經營:熒光/拉曼光譜系統、各類光譜測量系統、太陽能電池檢測儀器、光柵光譜儀、各類型光源及探測器、電控精密位移臺、手動精密位移臺、光學調整架、光學平臺、光學元件等系列產品。


我們誠心聆聽用戶的需要與批評,作為不斷改進的動力,能讓您滿意卓立漢光的產品及服務,就是我們的成就。因此我們以卓立漢光的光機產品提供 “終身保固”的承諾,來表達我們對產品的信心。


我們堅持從設計、零件選型、制造、裝配、檢驗、包裝、運輸、直到售后服務做好*質量保證,就是要讓您 “付有所值”,以合理的價位得到優質的產品,這是我們對您選擇卓立漢光真誠的回報。

卓立漢光始終以滿足用戶需求為宗旨,分別于上海、深圳、成都、西安設立分公司,為用戶提供及時周到的銷售與技術服務。“研發創新、快速反應、優質服務” 是我們的經營理念, 公司長期重視優質高效、短時間為客戶開發產品及提供技術支持。卓立漢光真誠地希望與國內外同仁攜手合作,為推動我國光電產業迅猛發展做出貢獻。

 

 

 

光譜儀,拉曼光譜,熒光光譜,太陽能電池檢測,位移臺,滑臺,光學調整架,電動滑臺,光學平臺,光學元件

產地類別 國產 應用領域 綜合
產品概述

SPM300系列半導體參數測試儀設備概覽

基于拉曼光譜法的半導體參數測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件,可對數據進行擬合計算,直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。系統穩定,重復性好,可用于實驗室檢驗或者產線監測。

① 光路接口盒:

內置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

② 光路轉向控制:

光路轉向控制可向下或向左,與原子力、低溫、探針臺等設備連用,可升級振鏡選項

③ 明視場相機:

明視場相機代替目鏡

④ 顯微鏡:

正置科研級金相顯微鏡,標配落射式明暗場照明,其它照明方式可升級

⑤ 電動位移臺:

75mm*50mm 行程高精度電動載物臺,1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合:

光纖共聚焦耦合為可選項,提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

標配CCD- 狹縫耦合方式,可使用光譜儀成像模式,高光通量

⑧ 光譜CCD:

背照式深耗盡型光譜CCD相機, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 光譜儀:

F/4.2高光通量影像校正光譜儀, 1*10-5 雜散光抑制比

SPM300系列半導體參數測試儀主要應用

選型表

型號

描述

SPM300-mini

基礎款半導體參數分析儀,只含一路532nm 激光器,常規正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺

SPM300-SMS532

多功能型半導體參數分析儀,含532nm 激光器,常規正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

可升級耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

開放式半導體參數測試儀,含532nm 激光器,定制開放式顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

可升級耦合最多4 路激光器

系統參數

項目

詳細技術規格

光源

標配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,最多耦合4 路激光,可電動切換,功率可調節

光譜儀

320mm 焦距影像校正光譜儀,光譜范圍90-9000cm-1,

光譜分辨率

2cm-1

空間分辨率

<1μm

樣品掃描范圍

標配75mm*50mm,最大300mm*300mm

顯微鏡

正置顯微鏡,明場或者暗場觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開放式顯微鏡可選

載流子濃度分析

測試范圍測試范圍1017 ~ 1020 cm-3,重復性誤差<5%

應力測試

可直觀給出應力屬性(拉力/ 張力),針對特種樣品,可直接計算應力大小,應力均勻性分析

(需額外配置電動位移臺), 應力解析精度0.002cm-1

晶化率測試

可自動分峰,自動擬合,自動計算出晶化率,并且自動計算晶粒大小和應力大小

測試案例舉例





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