描述

ESCALAB XI配備了微聚焦單色化X射線源，旨在提供*的XPS分析性能+X射線光電子能譜儀能滿足大吞吐量樣品測試需求多技術能力、一系列靈活的樣品制備室及樣品處理設備，使該儀器在解決任何表面分析問題時都能游刃有余。利用*的 Avantage 數據采集和處理系統，從測試數據中挖掘盡可能多的信息。

The ESCALAB XI+ X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe Features:

高靈敏度能譜
小面積 XPS
深度剖析能力
角分辨 XPS
標配離子散射能譜 (ISS)功能
標配反射電子能量損失譜 (REELS)功能
標配“樣品預處理”室
多技術分析的多功能性
多個樣品制備技術可選
全自動無人值守式分析
多樣品分析

單色化X射線源

雙晶體微聚焦單色器配備一個 500 mm 直徑的羅蘭圓，使用鋁陽極靶
樣品 X 射線光斑尺寸可選擇范圍為 200 至 900 μm

透鏡、分析儀和檢測器

透鏡、分析儀和檢測器構成XPS檢測系統+XPS光譜儀在成像和微區方面的分析能力都是獨yi無二的
兩種類型的檢測器可以確保為每種分析提供zuijia檢測——用于成像的二維檢測器和適用于高計數率檢測的電子倍增器
透鏡配備了兩個電腦控制的虹膜機構 - 一個允許用戶將透鏡的視野控制在<20μm以下進行微區分析，另一個控制透鏡的接收角度，以便獲得高質量角度分辨數據
180° 半球型能量分析器

深度剖析

數控式 EX06 離子槍是一款高性能的離子源，哪怕在使用低能離子源時也有著很好的性能
提供方位角樣品旋轉
多技術能力
可配備其他分析技術而不降低 XPS 檢測性能
使用 EX06 離子槍時透鏡組和能量分析儀的電源可反向（確保離子散射能譜 (ISS) 可用）
電子槍可加壓升至 1000 V，為 REELS 提供優異的離子源

技術選項

非單色化 X 射線光源的XPS分析
AES（俄歇電子能譜）
UPS（紫外光電子能譜）

真空系統

5 mm 厚高導磁?金屬分析室，zui大程度提高磁屏蔽效率
與使用內部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

樣品制備

系統標配一體化的快速進樣室和制備室
額外的制備室可選

Avantage 數據系統

集成了測試分析的所有方面，包括儀器控制、數據采集、數據處理和報告生成
允許遠程控制，并且可輕松與第三方軟件交互（例如 Microsoft Word）
管理從樣品載入到報告導出的整個分析過程