設備特點

● 加工口徑：750mm×750mm

● 加工材料：玻璃、金屬、硅、晶體（YAG、鈮酸鋰等）、鍺等紅外材料、寶石等

● 加工精度：面形rms＜1nm（與檢測精度有關）

● 非接觸加工方式，支持平面、球面、柱面、非球面及自由曲面加工

● 去除穩定，確定性加工程度高，亞納米級加工精度

● 不產生亞表面損傷，可修正中低頻誤差，加工過程中基本不產生中高頻誤差

● *的離子束過程誤差補償技術

● 離子源穩定性＞95%，連續工作運行時間＞300h (不用開腔體維護)

● 高去除效率，去除率：0-0.2mm3/min范圍可調

● 法拉第監測和補償，監測離子束流特征及坐標掃描補償

● 設備維護成本低，耗材少

主機                描述 

系統配置            精密3軸CNC系統，“T” 型布局

大加工范圍        750mm×750mm

腔體結構            主真空腔體（Φ1700mm×1450mm,304）,副真空腔體（304）

法拉第掃描系統      法拉第杯電流收集器，電流放大器（1000倍），掃描軟件系統（帶補償分析和校正）

計算機配置          Intel i5 2.4GHz處理器，64-bit 位Windows 7專業版，16GB內存，10/100/1000以太網

                    接口，DVD RW光驅，50GB硬盤，USB接口

控制系統            ACS Cmba-3C04N0N800WNNNYN

編程分辨率          0.1μm

性能展示            可加工平面、球面、柱面、非球面、離軸非球面、自由曲面等原件，加工材料包括

金屬、 玻璃、晶體、紅外材料、寶石等

加工精度rms＜1nm

離子源             指標

類型               射頻離子源

                   3石墨柵網（focusing girds with R=150mm）

                   柵網孔直徑d=1mm,柵網孔區域直徑D=38mm(resulting ion beam profile FWHM 25mm)

中和器             鎢絲陰極結構中和器，0.3mm鎢絲

                   2個高壓電源結構，BNC型號

                   離子源束電壓直流電源0-2000V

電源               離子源加速電壓直流電源0-1000V

                   中和器直流電源0-30A

                   射頻電源0-300V

線性軸               X                         Z                         Y

行程                800mm                    150mm                    800mm

驅動系統            直流直線電機              直流直線電機              直流直線電機

反饋類型            Renishaw真空光柵尺反饋    Renishaw真空光柵尺反饋   Renishaw真空光柵尺反饋

反饋分辨率          0.1μm                    0.1μm                    0.1μm

進給速度            運動速度＞100mm/s,        運動速度＞100mm/s,       運動速度＞100mm/s,

                    加速度＞2m/8’ 2            加速度＞2m/8’2           加速度＞2m/8’ 2

直線度              20μm over full travel        20μm over full travel       20μm over full travel

其他                三軸聯動，重復定位精度＜5μm，真空散熱保證，Z軸負載磁力配重，支持CNC  

 Gcode代碼控制

使用環境               氣體要求                供電要求               占地空間

基本光學加工環境，                              380VAC; 1phase;        3.50m L x  4.0m  D x 3.0 m

溫控±5℃以內         6 to 8 bar                  50/60hz                Approx.5.500KG