HTRS-1000高溫半導體材料電阻率測試儀

HTRS-1000型高溫半導體材料電阻率測試儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試，該系統采用四線電阻法測量原理進行設計開發，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進行測試，可以廣泛用于半導體材料硅（si）、鍺（ge）,化合物半導體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb），三元化合物半導體GaAsAl、GaAsP，固溶體半導體，如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。
一、主要技術參數：
溫度范圍：RT-1000℃
升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)
控溫精度：±0.5℃
電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環境：惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛
測量方法：四線電阻法
測試通道：單通道
樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm
電極材料：上電極半圓型鉑金電極，下電極平板型鉑金電極
絕緣材料：99氧化鋁陶瓷
數據存儲格式：TXT文本格式
數據傳輸：USB
符合標準：ASTM
供電：220V±10%，50Hz
工作溫度：5℃ + 40 ℃；
存儲溫度：–40 ℃ +65 ℃
工作濕度：+40 ℃ 時，相對濕度高達 95%（無冷凝）
設備尺寸：400x450x580mm
重量：38kg