2018年8月8日，由中國儀器儀表學會分析儀器分會和長三角科學儀器產業技術創新戰略聯盟主辦的第五屆中國分析儀器學術年會在蘇州吳江海悅花園大酒店隆重舉行。會議當晚舉行的“朱良漪分析創新獎”頒獎禮上，來自中國科學院物理研究所郇慶博士榮獲當晚的“青年創新獎”。化工儀器網記者于次日采訪了郇慶，對其團隊研發的掃描探針顯微鏡成套系統及其關鍵部件研制的相關情況進行了進一步的解讀。
 

中國科學院物理研究所博士郇慶
 

　　在頒獎詞中，是這樣來描述郇慶的：郇慶在超高真空高精尖儀器的研發方向做出了國際前沿水平的工作。從科學研究對高精尖儀器的需求出發，針對進口科研儀器性能上的不完全匹配，通過一系列核心原理及器件的創新，不僅研制了高性能的儀器并在多家科研單位推廣，且以儀器為依托支撐了高水平科研成果的產出。特此頒發朱良漪青年創新獎！
 

　　在采訪中我們了解到，以郇慶為代表的中國科學院物理研究所團隊在高精尖儀器的研發上取得了多項成就。其一是針對掃描顯微鏡成套系統研發了包括電子束加熱蒸發源、電阻加熱蒸發源、電子束加熱控制器、多功能溫度控制器等在內的多項關鍵部件。其二則是掃描探針顯微鏡成套系統的改進和研制，具體涵蓋了以下幾點：一是四探針STM系統的全面升級改造。郇慶和其研發隊伍通過對一臺商業化超高真空四探針STM系統的全面升級改造，使其多項性能獲得了顯著提升；二是超高真空變溫掃描隧道顯微鏡系統；三是新型光學——掃描探針顯微鏡分子束外延聯合系統。郇慶等人研制了多臺掃描探針顯微鏡-分子束外延聯合系統，該系統可在超高真空、低溫環境下工作，并具有光學兼容的特點；四是高通量連續組分外延薄膜制備及原位局域電子態表征系統。他們將高通量連續組分外外延制備手段與原位電子態表征技術相結合，用于超導薄膜體系的研究。系統采用了全新的、具有自主知識產權的連續組分外延薄膜制備核心技術，從原理上解決了現有技術的缺陷和不足。
 

　　在談及產品的創新點時，郇慶表示，由于產品種類比較多，他就以新型光學掃描隧道顯微鏡系統和高通量連續組分外延薄膜制備及原位局域電子態表征系統兩套產品來舉例說明。其中，新型光學掃描隧道顯微鏡系統是在科技部重大儀器專項的支持下實施的。儀器核心的掃描探針就是由郇慶團隊自主研發的。除此之外，他們還做了自己的創新和改進，比如設置了光學收集和引路通道、可以在超低溫真空環境下實現對力的調節、一體化的結構設計等。而另一款產品——高通量連續組分外延薄膜制備及原位局域電子態表征系統，則主要解決了現有機制的一些問題，例如積累誤差、機械磨損等。由于整個系統將高通量的連續薄膜制備與原位探表針系統進行了結合，其本身也是一種集成創新。
 

　　以上這些產品目前面向的用戶主要是各高校和科研機構。其中一些關鍵部件在北大、清華、南大等高校均有銷售，國外的耶魯大學、匹茨堡大學、伊利諾伊芝加哥大學等也在使用由中科院物理研究所研發的這些產品。據介紹，中科院物理研究所今年也將成立自己的高新技術企業，接下來將以更商業化的模式來推廣這些研究成果。但郇慶也表示，要想從一開始就找準儀器的市場定位，無疑是不現實的。他解釋到，一件研究成果從實驗室走向市場化，需要考慮的因素有很多，無論是產品的穩定性，還是重復性、使用壽命等都需要不斷的優化，因此前期的準備工作顯得尤為重要。為此，他們目前需要做的就是積極做好前期的積累工作，拓寬儀器的應用領域，更好的提升儀器的社會效益。
 

　　在采訪的后，郇慶表示，他會把這次獲獎當做一個新的起點。他笑著說到，從小時候深受父親影響，喜歡與電路相關的小器材，到如今成功研發出自己多年前的構想，這其中的每一步都是一種成長和累積。在采訪中，我們也發現，郇慶總是習慣性的將每次成果介紹的開頭表述為“我們”，大約在他看來，只有團隊的力量才是他們實現突破的根本。未來，他們也將以此為契機，在分析儀器領域做出更多的成就。