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助力半導體行業健康發展 《半導體超精密分析技術及應用線上論壇》即將開播
2022年10月11日 16:57:18 來源:化工儀器網 作者:楊 點擊量:5448

化工儀器網于2022年10月20日舉辦“半導體超精密分析技術及應用”線上論壇,邀請專家深入探討,以期為從事半導體器件以及相關高純材料開發、超精密分析技術研究的科研人員和企業研發人員開拓思路,助力半導體行業健康發展。

  【化工儀器網 行業百態】作為數字時代的底層支撐,在數字經濟、新冠肺炎疫情和地緣政治三重因素疊加作用下,半導體產業對國家安全的重大意義,對人民生活的深遠影響越來越突出。
 
  隨著半導體產業向小型化和集成化方向發展,微米量級的器件尺寸對測試技術提出新的挑戰,此外,作為半導體產業的基石,高純金屬材料、高純氣體、高純水和光刻膠等高純材料的痕量分析不斷有新的需求,材料的純度決定著半導體器件工藝的高度,多年來,分析科學家及儀器廠商一直在不斷努力提升半導體器件和高純材料的測試精度和效率。
 
  基于此,化工儀器網于2022年10月20日舉辦“半導體超精密分析技術及應用”線上論壇,邀請專家深入探討半導體行業超精密分析需求、半導體器件超精密測量技術動態、半導體高純材料的研究動態和技術進展、質譜/光譜/色譜等痕量分析技術動態及應用案例、工業CT/核磁/電鏡等檢測技術的動態及應用案例,以期為從事半導體器件以及相關高純材料開發、超精密分析技術研究的科研人員和企業研發人員開拓思路,助力半導體行業健康發展。
 
  會議日程
 
會議日程
 
  講師介紹
 
  西安交通大學教授、國家重點研發計劃項目首席 楊樹明
 
  博士生導師,國際納米制造學會(ISNM)會士、國家杰出青年基金獲得者、國家重點研發計劃項目首席、教育部新世紀優秀人才、陜西省重點科技創新團隊帶頭人等。承擔國家及省部級重大重點項目20余項,發表學術論文170多篇;授權/公開國際國內發明專利90多件,獲省部級和國家行業學會等科技獎勵7項。研究成果入選中國科協首屆“科創中國”先導技術榜單,擔任中國科協首屆“科創中國”半導體芯片檢測技術創新基地負責人。被遴選為亞洲精密工程與納米技術學會(ASPEN)理事、中國計量測試學會常務理事等。在國際國內學術會議應邀做大會報告和特邀報告50余次,擔任JMS、IJPEM-GT、IJRAT、NMME、MST、PE、IJAMT、Photonics等國際期刊編委和客座編委以及多個國內期刊責任編委和編委等。
 
  天津三英精密儀器股份有限公司應用工程師 李策
 
  畢業于天津大學,現就職于天津三英精密儀器股份有限公司市場拓展部,任應用工程師一職。主要負責X射線三維CT成像技術的應用拓展,熟悉CT技術在電子制造、鋰電池、新材料、航空航天、巖土、地質、動植物、3D打印等領域的應用,擁有豐富的經驗和應用案例,了解X射線三維CT成像技術在各行業應用研究中的技術需求。
 
  北京大學寬禁帶半導體研究中心高級工程師 楊學林
 
  國家優秀青年科學基金獲得者。北京大學博士,東京大學博士后。近年來主要圍繞Si襯底上GaN基功率電子材料和器件開展研究工作,在Si襯底上GaN厚膜及其異質結構的MOCVD外延生長、C雜質相關缺陷研究等方面取得了多項成果。迄今共發表SCI論文100余篇,包括以第一作者/通訊作者在Phys. Rev. Lett., Adv. Funct. Mater., Appl. Phys. Lett.等期刊上發表SCI論文30余篇。在本領域國內外學術會議上做邀請報告近20次,申請/授權國家發明專利13件。主持國家自然科學基金委優青項目、國家重點研發課題等10余項科研項目,擔任Physica Status Solidi雜志客座編輯,Crystal雜志客座編輯。
 
  牛津儀器納米分析部應用科學家 馬嵐
 
  2012年獲得上海交通大學材料科學與工程學院博士學位,博士研究鎂合金的時效強化機制及變形機制,主要利用TEM、SEM、EBSD等手段進行表征。2012-2015年間在日本物質材料研究所進行博后工作,期間研究的課題為高強韌鎂合金的開發及磁性材料微結構表征,利用HAADF-STEM、SEM、EBSD及3DAP進行材料表征,熟悉掌握FIB及納米操作手。2015年回國加入牛津儀器公司,主要負責能譜、EBSD、OP的推廣及技術支持。
 
  浙江大學教授、中國儀器儀表協會分析儀器分會理事/離子色譜專家組組長 朱巖
 
  承擔國家及省部級各類項目30 余項,發表學術論文 300 多篇,授權發明專利 30 多項,獲浙江省科學技術二等獎、湖北省科學技術二等獎、國家質量監督檢驗檢疫總局科技興檢獎二等獎等省部獎勵10多項;在國際學術會議應邀做大會報告和特邀報告 20 余次,擔任《分析試驗室》副主編,《色譜》和《中國無機分析化學》編委。
 
  賽默飛應用科學家 李小波
 
  賽默飛世爾科技色譜質譜部痕量元素分析應用專家,服務賽默飛超過20年,長期從事無機元素產品的應用開發和客戶培訓指導工作,尤其是在ICP質譜分析技術上積累了豐富的實踐經驗,為各領域客戶提供有效的技術支持。
 
  天津大學精密儀器工程系副系主任 徐宗偉
 
  天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室,英才副教授,博導,研究領域:寬禁帶半導體器件、超快能量束(離子、fs激光)加工、拉曼及熒光光譜表征、微納加工機理、微刀具制備及納米切削技術。中國電子顯微鏡學會聚焦離子束專業委員會委員。主持國家級項目11項,5項國家自然基金委資助的國際合作交流項目,其中一項被英國皇家學會列入“牛頓基金”。在Journal of Materials Chemistry C頂級期刊等上發表SCI論文50余篇,獲天津市技術發明獎一等獎。
 
  徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司應用工程師 包沈源
 
  華東理工大學先進材料與制備技術博士、物理化學博士后。2020.07入職徠卡顯微系統,從事電鏡制樣應用工程師,涉及新能源、半導體器件、石油化工、高分子材料、生物組織等領域。
 
  東華理工大學副教授 徐加泉 
 
  徐加泉,博士,副教授,東華理工大學, 江西省質譜科學與儀器重點實驗室。主要從事混雜樣品直接質譜分析原理、裝置、方法及應用研究。近年來,在Angew. Chem. Int. Ed.、Anal. Chem.、Sci. China Chem.等學術期刊發表SCI論文30余篇,獲授權專利8件,主持國家自然科學基金、江西省杰出青年基金等國家級和省部級項目5項,作為技術負責人參與國家重大科研儀器項目1項。現任《Chinese Chemical Letters》(中國化學快報)、《Journal of Analysis and Testing》青年編委。
 
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