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美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術規格
閱讀：662 發布時間：2024-5-7美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷為了大限度地提高工藝的重復性和一致性,現代等離子體應用需要精確的射頻功率調節和控制。射頻發生器的校準、調節和監控是確保射頻電源準確、可重復地向腔室輸送射頻電源的關鍵組成部分。當使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時,VSWR目前提供超穩定、低VSWR負載,用于快速和精確地測量發電機輸出功率。8921SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下,VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準時間不同,沒有必要進行負載熱身或重復性風險。這可以最小化與此校準相關的錯誤,并控制更關鍵的過程變量之一。
美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術規格如下：
項目編號
8921SC13
項目名稱
5千瓦,超穩定,油電射頻終止載荷
功率等級
5千瓦
頻率范圍及VSWR
直流至28兆赫@最大1.1兆赫。
不足1.05:1
阻擋物
50 (nominal)
Vswr穩定性
0-100%的穩定頻率功率
穩定頻率
13.56兆赫+10千赫
連接器
"QC" Type LC (Female) - normally supplied
互鎖熱開關-可選
一般都是封閉的。在236℃(457華氏度)開放
熱開關等級
115伏,10a
230真空,5a
溫度范圍
操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F)
儲存: – 40 to +45 °C (– 40 to +113 °F)
高度
1520 m (5000 ft.)
潮濕
95%不凝結最大值。
冷卻法
石油介質和對流電流
尺寸
32.8" x 9.5" x 26.9"
832x241x681毫米
重量
126 lbs.
57千克
結束
環氧樹脂
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