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CKD小型流量傳感器FSM3系列可在塵埃或水飛濺的環(huán)境下使用
1.具有相當(dāng)于IP65的防護(hù)等級。
2.即使在有塵埃的環(huán)境、維護(hù)時和清掃時濺到水滴也可以放心使用。 
潔凈規(guī)格
1.標(biāo)準(zhǔn)備有防發(fā)塵包裝（P70）、禁油規(guī)格（P80）
2.可根據(jù)裝置的級別區(qū)分使用。
排氣適用
流路中不使用樹脂，適用于禁止排氣的工序。
高精度?高響應(yīng)
重復(fù)精度：±1％F.S.以內(nèi)
顯示精度：±3％F.S.以內(nèi)
響應(yīng)時間：50msec
可進(jìn)行雙向流體測量
有效縮短生產(chǎn)間隔時間
可任意設(shè)定流向進(jìn)行測量。
1臺可測量5種氣體
氣體種類切換功能
1.空氣、氮?dú)狻鍤狻⒍趸肌⒒旌蠚怏w。
2.（混合比Ar:CO2（8:2）1臺流量傳感器即可對應(yīng)。
3.可通過操作本體的按鈕進(jìn)行氣體種類切換。
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